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瑞典Excillum公司高分辨納米管微焦斑光源（Nanotube）
Excillum納米管N3基于先進的電子光學和最新的鎢-金剛石透射靶技術，自動電子束聚焦和散光校正，確保每一天、每一次，盡可能獲得最小的、正圓形光斑。 同時，納米管N3具有內(nèi)部測量及即時反饋當前光斑尺寸大小的獨特功能。先進的冷卻和散熱設計保證了焦點在長時間曝光下的穩(wěn)定性。真正實現(xiàn)了無與倫比的150nm線性和空間分辨率。
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